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应用领域:可广泛用于集成电路、分立元件、光电器件、MEMS、微光学元件、声表器件、传感器等生产领域。
特点:BAT-0167型步进投影光刻机采用模块化设计,结构紧凑、性价比高,具有自动上下片,自动对准,自动检焦,步进投影曝光、高精度图层套刻等功能。UVSTEP-15105型步进投影光刻机具有自动化程度高、曝光图形质量好、套刻精度高、生产效率高、操作简单等优点,适用于不同类型的亚微米光刻工艺,可定制能力强、性价比高。

BAT-0167步进投影光刻机
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