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详细信息
规格参数
技术数据
1.最大曝光面积:160mm*160mm
2. 曝光分辨率:1μm(胶厚≤0.5μm 的正胶)
3. 对准精度:±1μm(标准晶圆抛光片)
4. 光源强度:35mW/cm²
5. 曝光波长:LED 光源(进口灯珠，寿命多1万小时)
6. 曝光方式:定时(倒计时方式)
7. 掩模样片相对运动范围:X:优于士5mm;Y:优于士5mm;0:优于士6°
8. 掩模尺寸:7英寸
9. 样片规格:6英寸(晶圆片)
10.数字设定对准间隙和曝光间隙
11.掩模样片分离间隙:8=0-500 μm 连续可调
12.对准方式:自动对准,可根据客户需求,增加对准标记的类型,累计不超过4 组
13.自动输片:机械手自动输片(专用样片机械手臂及片叉),含预对准定位功能
14.显微扫描范围:Y:±40mm(数字设定)
15.具备正压气浮曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能 CCD+远心镜头+显示器对准,光学合像
16.调平接触压力通过传感器保证重复
17.双物镜可调距离范围:30mm-130mm
BBT-661全自动光刻机
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