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TM系列压电纳米线性位移台

超安静运动,20HZ驱动频率 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)

详细信息

规格参数

技术数据

• 超安静运动,20HZ驱动频率

• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)

• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选

• 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm

• 最小步伐约10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台,摇摆台

•高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件

TM系列压电纳米线性位移台

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