气浮隔振系列光学平台结合日本先进的隔振技术。台面经过精密加工和迪纹哑光处理，可以保证0.05 mm/m2的平面度和0.8 μm粗糙度要求。机架根据不同台面规格分为四支撑与六支撑结构，并由连杆组成刚性结构。机架隔振系统采用空气弹簧结构设计，其工作时，内腔充入压缩空气，形成一个压缩空气柱。依靠橡胶气囊中压缩空气的压力变化取得减振效果。其工作固有频率在0.5～3 Hz，共振阻尼性能好，响应灵敏。空气弹簧巧妙采用双气室结构设计，附加气室以降低垂直刚度，并在空气弹簧本体和附加气室之间设置节流孔以提供阻尼。当空气弹簧受到激扰而产生变形时，节流孔两侧将产生压力差，空气弹簧在缓慢变位过程中，其压力差不大，而在快速变位过程， 则其压力差较大。压力空气流过节流孔时，将受到局部阻力作用而产生阻尼， 吸收一部分能量，从而起到减振作用。机架隔振系统除隔振结构外，还包括气路控制系统，气动元件均为品牌产品。平台机架底部带有集成式水平脚和脚轮，能满足实验室不同的空间需求。台面由高导磁不锈钢顶板、隔离杯层、中间蜂窝层和底板钢层组成，防止液体，杂质渗入蜂窝结构，并阻止气体在螺纹孔间的对流。台面下部机架为气浮隔振系统，能够有效减弱固有频率以上范围的振动。