差分调节器位移范围:5 mm
可选用20 μm压电驱动器
NFL5DP20(/M):开环工作
NFL5DP20S(/M):有应变片,用于闭环工作
尺寸紧凑:边长3.00英寸(75 mm),厚度1.18英寸(30 mm)
XYZ轴都可配置