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13
2026
-
04
集成MEMS致动器的芯片级图像传感器
作者：
清华大学 Xiaoguang Zhao、Fei Xing、Zheng You 团队报道了一种集成微机电系统（MEMS）致动器的芯片级图像传感器。通过致动器精确调制数字图像传感器的位置，该传感器能够克服像素尺寸对采样周期的限制。作者基于傅里叶光学构建了表征该传感器的理论模型，并采用微加工工艺制造了该传感器。与未进行位置调制的传感器相比，该器件的空间带宽积提升高达33.7倍。作者还证明，当集成到相机系统中时，该传感器能够提高点目标定位精度和成像分辨率。
研究成果于 2026 年 4 月 7 日以 “A chip-scale image sensor integrated with a microelectromechanical system actuator” 为题发表于《Nature Electronics》。
图1：MSEIS的设计和SBP增强原理
图2：MSEIS中SBP增强的模拟分析
图3：MSEIS相机SBP增强的表征
图4：使用MSEIS相机进行点状目标测量和成像的结果
来源：光学光学世界
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