光学前沿动态

OPTICS FRONTIERS

22

2026

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09

晶圆级共形超表面光学器件

作者:


麻省理工学院 Tian Gu、Zhaoyi Li 团队和韩国科学技术院 Young Min Song 团队展示了一种基于热成型技术的可扩展曲面共形超表面光学器件制造策略。热成型是热塑性塑料的行业标准制造工艺。作者的方法能够以晶圆级规模生产曲率半径达毫米级、对准精度达微米级的高曲率超表面。作者开发了一种预测性热流变模型,该模型能够精确捕捉并补偿热成型过程中产生的大变形,从而保持预期的光学响应并实现衍射极限性能。作为演示,作者实现了独立式曲面超透镜、共形折射-超表面混合光学器件以及具有宽视场、低像差和均匀成像性能的人工复眼。这些结果表明,热成型技术是下一代共形光子系统可扩展的制造平台。

研究成果于 2026 年 9 月 18 日以“Wafer-scale conformal metasurface optics”为题发表于《Nature Communications》。

图1:共形超表面制造与组装

图2:热成型曲面超表面的光机械行为

图3:独立式曲面超透镜的实验表征

图4:混合折射-超表面光学器件的实验演示

图5:共形超透镜复眼的成像演示

来源:optics光学世界